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光學(xué)微電子凈化工程

適應行業(yè)：LED照明、眼鏡、激光、紅外、顯微鏡     

建議等級：100級-10萬(wàn)級

電子無(wú)塵凈化車(chē)間

千級半導體封裝無(wú)塵車(chē)間

光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給于特別設計之密閉空間。

光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或潔凈室，已是半導體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線(xiàn)路板制造和生物化學(xué)、醫藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。由于技術(shù)之創(chuàng )新發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目。

微電子無(wú)塵車(chē)間一角

電子無(wú)塵凈化車(chē)間

光學(xué)微電子凈化工程一般包括：

1、 潔凈生產(chǎn)區

2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)

3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)

4、 設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)

電子無(wú)塵凈化車(chē)間

光學(xué)微電子凈化工程凈化原理：

氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細菌

等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復以上過(guò)程，即可達到凈化目的。

光學(xué)微電子凈化工程凈化參數：

換氣次數：100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差：主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa

平均風(fēng)速：10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃。

溫度45-65%;GMP粉劑車(chē)間濕度在50%左右為宜;電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。

電子無(wú)塵車(chē)間檢測

光學(xué)微電子凈化工程結構材料：

1. 凈化廠(chǎng)房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀(guān)、剛性強。圓弧墻 角、門(mén)、窗框等一般采用專(zhuān)用氧化鋁型材制造。

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀(guān)清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

激光設備生產(chǎn)潔凈車(chē)間

激光設備生產(chǎn)潔凈車(chē)間

激光設備生產(chǎn)潔凈車(chē)間

光學(xué)微電子凈化工程解決方案:

凈化工程的設計過(guò)程中，應加強對光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析了解,根據該工程是新建工程或者是舊廠(chǎng)房改造工程，并結合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據該工程的具體情況，同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠(chǎng)家的經(jīng)濟承受能力，綜合各種因素來(lái)確定采用何種凈化方案，這樣才可設計出一個(gè)能滿(mǎn)足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟節能實(shí)用的方案。

1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風(fēng)口

這是一個(gè)最傳統的凈化空調系統的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如混合段、初效過(guò)濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過(guò)濾段、風(fēng)機段等。其冷源由冷水機組提供。

優(yōu)點(diǎn)：

A.空氣處理效果好，因空氣經(jīng)過(guò)集中處理，在送風(fēng)過(guò)程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的控制比較精確;

B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠(chǎng)房;

C.空調冷熱源可與廠(chǎng)房普通空調系統合用或獨立冷熱源;

D.維修頻率較低;

E.車(chē)間的噪音低。

缺點(diǎn)：

A.需要有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機組的空調機房，如25000m3/h的組合式空氣處理機組，常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對于舊廠(chǎng)房改造項目來(lái)說(shuō)比較困難空出一個(gè)20-30┫的機房的;

B.造價(jià)高。

方案特點(diǎn)：

A.建議新風(fēng)經(jīng)過(guò)集中處理后再與回風(fēng)混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;

C.這類(lèi)方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬(wàn)級、十萬(wàn)級等較低的凈化無(wú)塵廠(chǎng)房。

2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之水冷柜機+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口

與前種方案比較，這是相對比較簡(jiǎn)單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積，水冷柜機可以根據具體的情況布置于較小機房?jì)然騼艋?chē)間內，增壓風(fēng)柜也可以布置于機房?jì)然虻踉跈C房?jì)然蛟趭A層內。

方案特點(diǎn)：

這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)，具體根據車(chē)間的大小情況而定;這類(lèi)方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬(wàn)級、十萬(wàn)級等的凈化無(wú)塵廠(chǎng)房。

3、分體空調柜機+FFU送風(fēng)口

這是最簡(jiǎn)易的一個(gè)空調方案。是直接將分體空調柜機布置于車(chē)間內，并用彩鋼圍護起來(lái)，在柜機回風(fēng)口處再在彩鋼板上開(kāi)回風(fēng)口(帶初效過(guò)濾網(wǎng));KLC風(fēng)機過(guò)濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對室內溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車(chē)間。

方案特點(diǎn)：

A、無(wú)塵車(chē)間的潔凈度：LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線(xiàn)和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。

B、溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5%。

C、新風(fēng)量大

D、送風(fēng)量大

凈化車(chē)間機電設備

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凈化工程空調設備

凈化工程空調設備